生長(zhǎng)臺(tái)尺寸：φ100mm  

控制方式：觸摸屏控制，PLC工藝菜單運(yùn)行（手動(dòng)或自動(dòng)）

微波電源： MUEGGE  10KW 2.45GHz    

真空泵：Leybold D16C  /  KYKY RV-4三相旋片泵

流量計(jì)：日本KOFLOC

H2（1000sccm） 、CH4(50sccm)、O2(10sccm)、N2（10sccm）

腔體冷卻方式：水冷

測(cè)溫：紅外測(cè)溫儀300-1400℃

機(jī)臺(tái)尺寸：1215mm（長(zhǎng)）*1114mm（寬）*2000mm（高）

供電：380V  三相五線

能耗：16kw