生長臺尺寸：φ100mm  

控制方式：觸摸屏控制，PLC工藝菜單運行（手動或自動）

微波電源： MUEGGE  10KW 2.45GHz    

真空泵：Leybold D16C  /  KYKY RV-4三相旋片泵

流量計：日本KOFLOC

H2（1000sccm） 、CH4(50sccm)、O2(10sccm)、N2（10sccm）

腔體冷卻方式：水冷

測溫：紅外測溫儀300-1400℃

機臺尺寸：1215mm（長）*1114mm（寬）*2000mm（高）

供電：380V  三相五線

能耗：16kw